PWM-Leistungselektronik

Präzise Lampensteuerung

Unsere PWM-Leistungselektronik (Pulsweitenmodulation) ermöglicht eine hochdynamische Steuerung von Lampen in Schnellheizsystemen, wie sie in der Halbleiterindustrie zum Einsatz kommen.
Durch den gezielten Einsatz dieser Technologie lassen sich Lichtquellen äußerst präzise in ihrer Intensität steuern, wodurch eine exakte thermische Prozessführung sichergestellt wird. Dies ist insbesondere bei temperaturempfindlichen Verfahren in der Halbleiterfertigung von entscheidender Bedeutung.

PWM-Leistungsteil

Beschreibung:
32 Ausgangskanäle mit je 400 … 450V max. 10A
Eingangsspannung 400V ±15%
Gesamt-Ausgangsleistung 100kW

Leistungselektronik und Prozessor-Steuerung
auf kleinstem Raum.

PWM-Steuerrechner

Beschreibung:
in Kombination mit dem PWM-Leistungsteil können bis zu 32 ohmsche Lasten (im speziellen Anwendungsfall Infrarothalogenlampen) unabhängig voneinander in der Leistung via PWM angesteuert werden.

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